1.核心优势
直接电子检测
ROI
高达 18'000 帧/秒
没有死亡时间
无噪声电子计数
107 计数/像素/秒
不需要光束停止器
— 低能量下的理想 DQE
2.应用领域
微电子衍射
4D-STEM
应变映射
洛伦兹显微镜测绘
叠层成像术
原位透射电镜
低能量/光电子显微镜LEEM/PEEM
技术参数:
像素尺寸 [μm2] |
75 × 75 |
像素数 |
514 × 514 |
有效面积,宽×高[mm2 |
38.6 × 38.6 |
能量范围 [kV] |
30 - 300 |
阈值范围 [kV] |
10 - 80 |
z大帧率,ROI [Hz] |
18‘000 |
z大帧率,全帧 [Hz] |
2‘250 (16-bit), 4‘500 (8-bit) |
传感器材料 |
Si or CdTe |
数据格式 |
HDF5 |
冷却 |
Water, 20 °C |
探测器尺寸 (WHD) [mm3] |
200 x 350 x 200 |
探测量子效率 (0) |
0.99 @ 100 kV; 0.96 @ 200 kV |
探测器安装 |
Bottom, on-axis |
辐射硬度 [el./mm2] |
>5 x 1015 |
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