纳米定位台作用
光纤裸纤一般分为三层,中心高折射率真玻璃芯、中间为低折射率真硅玻璃包层、外层为加强用的树脂涂层。入射到光纤端面的光并不能全部被光纤所传输,只有在某个角度范围内的入射光才会被传输。这个角度被称为数值孔径,越大对光纤的传输越有利。光纤中传输光的中心部分和中间部分的直径一般为几十微米或百微米左右,因此在光纤的对接上,就需要达纳米级的高精度六轴调节的运动平台,以保证光纤对接的精度。光纤对接错位,会导致光传输受阻或端面局部受热等问题。
纳米定位台
纳米操作系统按成像设备种类主要可分为基于扫描探针显微镜和基于电子显微镜的纳米操作系统。在各种纳米操作系统中,基于扫描电子显微镜的纳米操作系统因操作过程中实时成像、样本空间大等特点得到了广泛的关注与研究。可以提供纳米级的成像分辨率,其较大的样本室空间可以容纳相对更多的定位与测量设备,具有很高的可扩展性。根据成像原理和操作的要求,应用于内的定位驱动装置要同时具有纳米级分辨率、毫米级行程、紧凑小巧的体积和适宜真空的无磁元件。
纳米定位台
纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。运动范围可达500μm,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高的精度传感器,可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性,在精密定位领域中发挥着主要作用。
纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体化的结构设计。机构放大式驱动原理,内置高的性能压电陶瓷,可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高的刚性、高的负载、无摩擦等特点。
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